石墨舟烘箱與普通烘箱本質(zhì)的區(qū)別是防腐性能的不同。石墨舟酸洗浸泡6-8小時(shí)，之后進(jìn)行清水洗，然后用N2或CAD將石墨舟表面水分吹掃，再用石墨舟烘箱進(jìn)行烘干。所以可想而知石墨舟烘箱的耐腐蝕性能一定要強(qiáng)，否則很容易導(dǎo)至酸性液體滲透至箱體內(nèi)部，造成可挽回的損失。石墨舟烘箱在內(nèi)部材料選擇上也要特殊要求，選擇耐腐蝕性能好的不銹鋼板材，制作工藝上要求技術(shù)成熟，焊縫焊點(diǎn)做好拋光打磨處理。耐普通烘箱一般只要求溫度均勻，結(jié)構(gòu)優(yōu)良，智能操作，便于維修即可，對(duì)防腐性能的要求不是很高，所以普能烘箱在生產(chǎn)成本上要比石墨舟烘箱低很多。

石墨舟是用于半導(dǎo)體制造的一種重要的工具。它由石墨材料制成，用于在各種工藝中承載和傳輸硅片。石墨舟的維護(hù)對(duì)于確保其正常運(yùn)行和延長使用壽命至關(guān)重要。

干燥箱又名“烘箱”，分為鼓風(fēng)干燥和真空干燥兩種，鼓風(fēng)干燥就是通過循環(huán)風(fēng)機(jī)吹出熱風(fēng)，箱內(nèi)溫度平衡，真空干燥是采用真空泵將箱內(nèi)的空氣抽出，讓箱內(nèi)大氣壓低于常壓，使產(chǎn)品在一個(gè)很干凈的狀態(tài)下做試驗(yàn)，是一種常用的儀器設(shè)備，主要用來干燥樣品，也可以提供實(shí)驗(yàn)所需的溫度環(huán)境。

在循環(huán)加熱性能上，風(fēng)機(jī)的選擇至關(guān)重要，主要有國產(chǎn)和進(jìn)口兩種風(fēng)機(jī)。武漢尚測選擇的主要是進(jìn)口法國技術(shù)，低噪音風(fēng)機(jī)，在使用過程中不會(huì)產(chǎn)生國產(chǎn)的風(fēng)機(jī)那樣的噪音，并且循環(huán)效果好，升溫快。當(dāng)然，具體也可根據(jù)客戶的需求進(jìn)行選擇。

使用須知
1、該箱安放在室內(nèi)干燥的地面和工作臺(tái)面處，二氧化碳培養(yǎng)箱不必使用其他固定裝置。

2、應(yīng)在供電線路中安裝閘刀或空氣開關(guān)一只，供此箱，并用比電源線截面積粗一倍之導(dǎo)線作接地線。

3、通電前，先檢查本箱的電氣性能，并應(yīng)注意是否有斷路或漏電現(xiàn)象。

4、待一切準(zhǔn)備就緒，可放入試品，關(guān)上箱門，干燥箱必要時(shí)可旋開排氣閥，空隙約10mm左右。

5、隔水式培養(yǎng)箱，恒溫水浴將蒸餾水或去離子水接至進(jìn)水口，加水至溢水口為止。

電熱真空干燥箱由于外殼由鋼板沖壓折制、焊接成型，而且外殼表面采用高強(qiáng)度的靜電噴塑涂裝處理，漆膜光滑牢固。工作室采用碳鋼板或不銹鋼板折制焊接而成所以干燥箱十分堅(jiān)固。而且新研制出來的防爆干燥箱進(jìn)一步延伸了這些特點(diǎn)。一般的干燥箱都具有自行化操作，人性化結(jié)構(gòu)，信息化處理等特點(diǎn)，節(jié)能。