對(duì)于10000級(jí)和100000級(jí)潔凈廠房，預(yù)過(guò)濾器可選取用F8過(guò)濾器（比色法95%，這樣，未端過(guò)濾器的使用壽命一般可達(dá)5年。在國(guó)外項(xiàng)目中和國(guó)內(nèi)新建項(xiàng)目中，F(xiàn)8過(guò)濾器是紊流潔凈室常見(jiàn)的預(yù)過(guò)濾器。對(duì)于芯片廠100級(jí)、10級(jí)或更別的潔凈廠房，預(yù)過(guò)濾器的常見(jiàn)效率級(jí)別為G10（MPPS85%），許多新建項(xiàng)目索性選用HEPA（對(duì)0.3μm粒子的效率≥在國(guó)內(nèi)過(guò)去的潔凈室空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)中，過(guò)濾器的常見(jiàn)配置為：粗效＋中效＋。那時(shí)未端過(guò)濾器的使用壽命僅為1-3年，差的也就幾個(gè)月。

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