潔凈室也稱無塵室或清潔室。它是污染控制的基礎(chǔ)，沒有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面，潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則操作程序用于控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。
潔凈室是指將一定空氣范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪聲震動及照明、靜電控制在需求范圍內(nèi)，而特別設(shè)計的房間。即不論外在空氣條件如何變化，室內(nèi)均能具有維持原先所設(shè)定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能。
潔凈室主要的作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸的大氣的潔凈度以及溫/濕度，使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中被生產(chǎn)、制造，此空間稱為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說，所謂無塵，并非100％沒有一?；覊m，而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小得微乎其微，但是對于光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵室必然的要求。
將每立方米粒徑小于0.3μm的微粒數(shù)量控制在3500個以下，就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求A級，這樣的高標(biāo)準(zhǔn)主要被應(yīng)用在一些芯片生產(chǎn)上。粒徑在5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)稱的1K級別。
潔凈室狀態(tài)風(fēng)為以下三種：
（1）空態(tài)：已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室（設(shè)施）。它具有所有相關(guān)的服務(wù)和功能。但是，在設(shè)施內(nèi)沒有操作人員操作的設(shè)備。
（2）靜態(tài)：各種功能完備、設(shè)定安裝妥當(dāng)，可以按照設(shè)定使用的潔凈室（設(shè)施），但時設(shè)施內(nèi)沒有操作人員。
（3）動態(tài)：處于正常使用的潔凈室，服務(wù)功能完善，有設(shè)備和人員；如果需要可從事正常的工作。

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