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納米氧化鋁透明液體XZ-LY101體顏色無色透明色固含量的20%-25%。該納米氧化鋁透明分散液中使用的是5-10納米的氧化鋁,該5-10納米的氧化鋁是經(jīng)過原來粒徑稍大的納米氧化鋁經(jīng)過層層深加工篩選出來的氧化鋁,具有明顯納米藍(lán)相,添加到各種丙烯酸樹脂,聚氨酯樹脂,環(huán)氧樹脂,三聚氰胺樹脂,硅丙乳液等樹脂的水性液體中,添加量為5%到10%,可以明顯提高樹脂的硬度,硬度可達(dá)6-8H甚至更高。完全透明,該納米氧化鋁液體可以是水性的或者油性的任何溶劑,由于其納米粒徑相當(dāng)細(xì)小,固無論是何種溶劑皆是透明的,同時(shí)可以做各種玻璃涂層材料,寶石,精密儀器材料等。
化學(xué)機(jī)械拋光(Chemical Mechanical Polishing,CMP)技術(shù)具有特的化學(xué)和機(jī)械相結(jié)合的效應(yīng),是在機(jī)械拋光的基礎(chǔ)上,根據(jù)所要拋光的表面,加入相應(yīng)的化學(xué)試劑,從而達(dá)到增強(qiáng)拋光和選擇性拋光的效果?;瘜W(xué)機(jī)械拋光液的性能是影響化學(xué)機(jī)械拋光質(zhì)量和拋光效率的關(guān)鍵因素之一。拋光液一般包含氧化劑、絡(luò)合劑、表面活性劑、磨料、pH調(diào)節(jié)劑、腐蝕抑制劑等成分,各種添加劑的選擇和含量對拋光效果都會產(chǎn)生很大的影響。
氧化鋁拋光液,涉及半導(dǎo)體碳化硅晶圓拋光材料制備技術(shù)領(lǐng)域,其所用原料的重量百分比分別為:氧化鋁0.5?55、氧化劑0.05?25、抑制劑0.1?10、表面活性劑0.01?12、分散劑0.01?15、pH調(diào)節(jié)劑0.1?10、余量為高純水;其制備過程為:①備料;②磨料預(yù)處理;③混合;④pH值調(diào)節(jié);⑤高壓均質(zhì)。
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