燃?xì)庹羝仩t產(chǎn)品特點(diǎn)：
這是為了讓熱力膨脹閥保持必要的。冷凝器的內(nèi)部壓力上升時(shí)，閥門打開，壓力釋放，冷凝器內(nèi)部壓力下降，直到閥門在彈簧壓力下關(guān)閉。當(dāng)冷凝壓力過低，導(dǎo)致進(jìn)氣壓力過低時(shí)，冷凝器壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)可以防止低壓壓力控制器切斷電源。在環(huán)境溫度變化劇烈的地區(qū)，該系統(tǒng)可以解決許多冷凝器控制問題，因?yàn)樗軌毫ψ兓?，從而防止問題產(chǎn)生。壓差閥壓差閥用在排氣管路與儲(chǔ)液器之間的熱氣管路中，目的是將儲(chǔ)液器壓力維持在一定水平。在內(nèi)部彈簧力作用下，閥門在壓差達(dá)到1.4bar時(shí)開始打開，達(dá)到3bar時(shí)完全打開。
 鍋爐：煙管時(shí)三回程設(shè)計(jì)，因?yàn)檫@是掌握AMC控制的基礎(chǔ)，;按今后IC的生產(chǎn)要求，生產(chǎn)線的設(shè)備采用微環(huán)境隔離，各設(shè)備間園片的傳送采用前開式標(biāo)準(zhǔn)片盒(FOUPs)系統(tǒng)，對(duì)園片進(jìn)行隔離。早已對(duì)設(shè)備、FOUPs系統(tǒng)及微環(huán)境所用的材料要求不釋放及吸附有關(guān)懸浮分子污染物的問題以及對(duì)此污染物的去除措施進(jìn)行研發(fā)，并不斷改進(jìn)中;控制AMC的過濾器。近年來尤其是近2～3年來，對(duì)控制AMC過濾器的開發(fā)及推出有少進(jìn)展;A.不釋放AMC物質(zhì)的HEPA/ULPA;低硼超細(xì)玻璃纖維過濾器，現(xiàn)已在亞洲及歐洲的IC廠使用較多;b.多孔聚四稀(ePTFE)過濾器，為薄膜結(jié)構(gòu)，價(jià)格比a要高出十倍左右。配備節(jié)能器，效率達(dá)到92%以上，如再增配冷凝器，則效率可接近。

 耐久力超群：有充裕的傳熱面積濕背式后壁WET-BACK構(gòu)造，堅(jiān)固。

 燃燒系統(tǒng)：的燃燒系統(tǒng)，使燃燒室溫度場均勻，燃燒，且易于操作及維護(hù)。

 啟動(dòng)時(shí)間短：從自動(dòng)點(diǎn)火到產(chǎn)生8kg/㎝2壓力的蒸汽僅需要15分鐘左右。

 散熱損失小：三層式鍋爐爐殼保溫，內(nèi)層陶瓷纖維，中介巖棉板，外覆氣質(zhì)水泥，以降低散熱損失及提高外包強(qiáng)度。

 安全控制完備：使用可靠性的三重水位，三重壓力安全控制裝置，可確保系統(tǒng)的安全及運(yùn)轉(zhuǎn)。

 維護(hù)方便：因本體構(gòu)造及燃燒系統(tǒng)均簡單堅(jiān)固，所以操作或保養(yǎng)人員均能勝任維護(hù)工作。

 美觀大方：前煙箱門增設(shè)隔熱板，美觀大方，同事降低熱損失并提供良好的操作環(huán)境。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

 鍋爐：煙管時(shí)三回程設(shè)計(jì)，配備節(jié)能器，效率達(dá)到92%以上，如再增配冷凝器，則效率可接近。

 耐久力超群：有充裕的傳熱面積濕背式后壁WET-BACK構(gòu)造，堅(jiān)固。

 燃燒系統(tǒng)：的燃燒系統(tǒng)，使燃燒室溫度場均勻，燃燒，且易于操作及維護(hù)。

 啟動(dòng)時(shí)間短：從自動(dòng)點(diǎn)火到產(chǎn)生8kg/㎝2壓力的蒸汽僅需要15分鐘左右。

 散熱損失?。喝龑邮藉仩t爐殼保溫，內(nèi)層陶瓷纖維，中介巖棉板，外覆氣質(zhì)水泥，以降低散熱損失及提高外包強(qiáng)度。

 安全控制完備：使用可靠性的三重水位，三重壓力安全控制裝置，可確保系統(tǒng)的安全及運(yùn)轉(zhuǎn)。

 維護(hù)方便：因本體構(gòu)造及燃燒系統(tǒng)均簡單堅(jiān)固，所以操作或保養(yǎng)人員均能勝任維護(hù)工作。

 美觀大方：前煙箱門增設(shè)隔熱板，美觀大方，同事降低熱損失并提供良好的操作環(huán)境。