真空鍍膜機通常由真空腔體、加熱系統(tǒng)、蒸發(fā)源、濺射源、離子源、氣體控制系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等組成。在真空腔體中,通過抽氣系統(tǒng)將氣體抽走,形成高真空環(huán)境。加熱系統(tǒng)用于提供蒸發(fā)源或濺射源所需的熱能,使材料蒸發(fā)或濺射到
蒸發(fā)真空鍍膜機的工作原理是將材料加熱至高溫,使其蒸發(fā)成氣體,然后在真空環(huán)境中沉積在待鍍物體表面。蒸發(fā)源釋放出的蒸汽在真空室中擴散,與待鍍物體表面發(fā)生化學反應或物理吸附,形成薄膜。
蒸發(fā)真空鍍膜機廣泛應用于光學、電子、半導體、太陽能等領域,用于制備各種功能性薄膜,如反射膜、防反射膜、導電膜等。
在蒸發(fā)過程中,部分蒸汽會沉積在冷凝器上,形成固態(tài)材料,也可以通過回收裝置進行回收再利用。同時,為了保持真空環(huán)境,需要使用泵組進行持續(xù)抽氣。
臥式電阻回收蒸發(fā)真空鍍膜機設備廣泛應用于光學、電子、材料等領域,用于制備透明導電膜、光學薄膜、防反射膜等。它具有操作簡便、加工、薄膜質量好等優(yōu)點,是現(xiàn)代工業(yè)中不可或缺的設備之一。